T/CAS 304—2018磁控溅射硅靶材及绑定靶材.pdf，行业分类电机制造。
内容简要 本标准规定了磁控溅射硅靶材的分类及牌号、原料、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、供货状态及订货单（或合同）内容。本标准适用于半导体等电子器件用的各种磁控溅射…
T/CAS 304—2018磁控溅射硅靶材及绑定靶材.pdf，行业分类电机制造。
内容简要 本标准规定了磁控溅射硅靶材的分类及牌号、原料、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、供货状态及订货单（或合同）内容。本标准适用于半导体等电子器件用的各种磁控溅射…