GB/T 18032—2000砷化镓单晶AB微缺陷检验方法.pdf, 行业分类冶金。
此标准规定了砷化镓单晶AB微缺陷的检验方法。此标准适用于砷化镓单晶AB微缺陷密度(AB-EPD)的检验。检验面为(100)面。测量范围小于 5 X10 cm