GB/T 8758—2006砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法.pdf， 行业分类冶金。
此标准适用于砷化镓外延层厚度的测量，测量厚度大于2μm。要求衬底材料的电阴率小于0.02Ω?cm，外延层的电阴率大于0.1Ω?cm。
GB/T 8758—2006
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此标准适用于砷化镓外延层厚度的测量，测量厚度大于2μm。要求衬底材料的电阴率小于0.02Ω?cm，外延层的电阴率大于0.1Ω?cm。