GB/T 42789—2023硅片表面光泽度的测试方法.pdf， 行业分类冶金。
此标准描述了采用光反射法以20°、60°或85°几何条件测试硅片表面光泽度的方法。
此标准适用于硅腐蚀片、抛光片、外延片表面光泽度的测试，不适用于表面有图形的硅片的测试。
GB/T 42789—2023硅片表面光泽度的测试方法.pdf， 行业分类冶金。
此标准描述了采用光反射法以20°、60°或85°几何条件测试硅片表面光泽度的方法。
此标准适用于硅腐蚀片、抛光片、外延片表面光泽度的测试，不适用于表面有图形的硅片的测试。