GB/T 43315—2023硅片流动图形缺陷的检测 腐蚀法.pdf， 行业分类冶金。
此标准规定了化学腐蚀后用金相显微镜检测硅片流动图形缺陷的方法。
此标准适用于电阻率大于1Ω·cm的硅片流动图形缺陷的检测。
