GB/T 33523.604—2022产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第604部分：非接触（相干扫描干涉）式仪器的标称特性.pdf， 行业分类计量学和测量、物理现象。
此标准规定了用于表面高度三维映射的相干扫描干涉（CSI）测量系统的计量特性。
GB/T 33523.604—2022产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第604部分：非接触（相干扫描干涉）式仪器的标称特性.pdf， 行业分类计量学和测量、物理现象。
此标准规定了用于表面高度三维映射的相干扫描干涉（CSI）测量系统的计量特性。