GB/T 33523.603—2022产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第603部分：非接触（相移干涉显微）式仪器的标称特性.pdf， 行业分类计量学和测量、物理现象。
此标准规定了相移干涉法（PS）轮廓和区域表面结构测量显微镜的计量特性。
GB/T 33523.603—2022
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此标准规定了相移干涉法（PS）轮廓和区域表面结构测量显微镜的计量特性。