GB/T 24581—2022

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GB/T 24581—2022硅单晶中III、V族杂质含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法.pdf, 行业分类冶金。

此标准描述了用低温傅立叶变换红外光谱法测定硅单晶中Ⅲ、V族杂质含量的方法。

此标准适用于硅单晶中的Ⅲ、V族杂质铝(A1)、锑(Sb)、砷(As)、硼(B)、镓(Ga)、铟(In)和磷(P)含量的测定,各元素的测定范围(以原子数计)为1.0×1010cm-3 ~ 4.1×1014cm-3。

GB/T 24581—2022