GB/T 5252—2020锗单晶位错密度的测试方法.pdf， 行业分类冶金。
此标准规定了锗单晶位错密度的测试方法。
此标准适用于｛111}、｛100｝和｛013｝面锗单晶位错密度的测试，测试范围为0cm-2~100000cm-2。
