GB/T 34481—2017

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GB/T 34481—2017低位错密度锗单晶片腐蚀坑密度(EPD)的测量方法.pdf, 行业分类冶金。

此标准规定了低位错密度锗单晶片的腐蚀坑密度(EPD)的测量方法。

此标准适用于测试位错密度小于1000个/cm2、直径为75mm~150mm的圆形锗单晶片的位错腐蚀坑密度。

GB/T 34481—2017