GB/T 37466—2019氮化镓激光剥离设备.pdf, 行业分类电子学。
此标准规定了氮化镓激光剥离设备(以下简称“激光剥离设备”)的产品分类和标记、工作条件、要求、检测方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
此标准适用于利用激光方法将蓝宝石衬底生长的氮化镓(GaN)基外延层进行剥离的设备,氮化铝激光剥离设备可参考此标准。
GB/T 37466—2019氮化镓激光剥离设备.pdf, 行业分类电子学。
此标准规定了氮化镓激光剥离设备(以下简称“激光剥离设备”)的产品分类和标记、工作条件、要求、检测方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
此标准适用于利用激光方法将蓝宝石衬底生长的氮化镓(GaN)基外延层进行剥离的设备,氮化铝激光剥离设备可参考此标准。