GB/T 36646—2018

GB/T 36646—2018制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备.pdf， 行业分类电子学。

此标准规定了制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备（以下简称“HVPE设备”）的产品分类和标记、工作条件、要求、检测方法、检验规则、标志、包装、运输和储存。

此标准适用于制备直径50.8mm~152.4mm氮化物半导体材料的HVPE设备。