T/CEMIA 023—2021半导体单晶硅生长用石英坩埚.pdf，行业分类电子元件及电子专用材料制造。
内容简要 本文件界定了半导体单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义，并规定了尺寸偏差、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存。本文件适用于以高纯石英砂（成份：二氧化硅）为原料，采…
T/CEMIA 023—2021半导体单晶硅生长用石英坩埚.pdf，行业分类电子元件及电子专用材料制造。
内容简要 本文件界定了半导体单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义，并规定了尺寸偏差、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存。本文件适用于以高纯石英砂（成份：二氧化硅）为原料，采…