T/CEMIA 024—2021半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范.pdf，行业分类电子元件及电子专用材料制造。
内容简要 本文件确立了半导体单晶硅生长用石英坩埚从业人员、生产设备、主要原辅材料、生产工艺、作业环境及产品质量管控的程序和总体原则。本文件适用于半导体单晶硅生长用石英坩埚生产过程。…
T/CEMIA 024—2021半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范.pdf，行业分类电子元件及电子专用材料制造。
内容简要 本文件确立了半导体单晶硅生长用石英坩埚从业人员、生产设备、主要原辅材料、生产工艺、作业环境及产品质量管控的程序和总体原则。本文件适用于半导体单晶硅生长用石英坩埚生产过程。…