T/IAWBS 014—2021碳化硅单晶抛光片位错密度的测试方法.pdf，行业分类电子元件及电子专用材料制造。
内容简要 随着科技的发展和进步，第三代半导体材料碳化硅（SiC）取得了令人瞩目的成就，所研发的碳化硅器件的性能指标远超当前硅基器件，并且成功实现了部分碳化硅器件的产业化，在一些重要的能源…
T/IAWBS 014—2021碳化硅单晶抛光片位错密度的测试方法.pdf，行业分类电子元件及电子专用材料制造。
内容简要 随着科技的发展和进步，第三代半导体材料碳化硅（SiC）取得了令人瞩目的成就，所研发的碳化硅器件的性能指标远超当前硅基器件，并且成功实现了部分碳化硅器件的产业化，在一些重要的能源…