GB/T 34649—2017磁控溅射用钌靶.pdf， 行业分类冶金。
此标准规定了磁控溅射用钌靶的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同）内容。
此标准适用于微电子领域镀膜用磁控溅射钉靶（以下简称钌靶）。
