T/GVS 002—2021高精度磁控溅射镀膜设备通用技术要求.pdf，行业分类泵、阀门、压缩机及类似机械制造。
内容简要 规定了高精度磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。适用于极限压力在10-5Pa～10-3Pa范围的高精度磁控溅射镀膜设备（以…
T/GVS 002—2021高精度磁控溅射镀膜设备通用技术要求.pdf，行业分类泵、阀门、压缩机及类似机械制造。
内容简要 规定了高精度磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。适用于极限压力在10-5Pa～10-3Pa范围的高精度磁控溅射镀膜设备（以…