GB/T 14142—2017硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法.pdf， 行业分类冶金。
此标准规定了用化学腐蚀显示，并用金相显微镜检验硅外延层晶体完整性的方法。
此标准适用于硅外延层中堆垛层错和位错密度的检验，硅外延层厚度大于2m，缺陷密度的测试范围0~10000cm-2。
GB/T 14142—2017硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法.pdf， 行业分类冶金。
此标准规定了用化学腐蚀显示，并用金相显微镜检验硅外延层晶体完整性的方法。
此标准适用于硅外延层中堆垛层错和位错密度的检验，硅外延层厚度大于2m，缺陷密度的测试范围0~10000cm-2。