T/ICMTIA SM006—2021集成电路线宽65nm-14nm逻辑工艺用300mm P/P-型硅外延片.pdf，行业分类基础化学原料制造。
内容简要 本文件规定了直径300mm、P/P-型、(100)晶向规格的硅外延片的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书。本文件适用于集成电路线宽65nm-14…
T/ICMTIA SM006—2021集成电路线宽65nm-14nm逻辑工艺用300mm P/P-型硅外延片.pdf，行业分类基础化学原料制造。
内容简要 本文件规定了直径300mm、P/P-型、(100)晶向规格的硅外延片的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书。本文件适用于集成电路线宽65nm-14…