T/IAWBS 002—2017碳化硅外延片表面缺陷测试方法.pdf，行业分类电子元件及电子专用材料制造。
内容简要 本标准规定了功率器件用碳化硅外延片表面缺陷的无损光学测量方法。本标准适用于同质的超过（含）2微米厚的碳化硅外延层。…
