T/ICMTIA PC007—2021

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T/ICMTIA PC007—2021集成电路用氢氟酸.pdf,行业分类专用化学产品制造。

内容简要 本文件规定了集成电路用氢氟酸的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。本文件适用于集成电路制造过程中使用的氢氟酸。分子式:HF相对分子质量:20.01(按2014…

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