GB/T 32188—2015氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法.pdf， 行业分类冶金。
此标准规定了利用双晶 X射线衍射仪测试氮化镓单晶衬底片摇摆曲线半高宽的方法。 此标准适用于化学气相沉积及其他方法生长制备的氮化镓单晶衬底片。
