GB/T 30654—2014Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法.pdf, 行业分类冶金。
此标准规定了利用高分辨X射线衍射测试族氮化物外延片晶格常数的方法。此标准适用于在氧化物衬底(A120、ZnO等)或半导体衬底(GaN、Si、GaAs、SiC等)上外延生长的氮化物(Ga,In,A1)N单层或多层异质外延片晶格常数的测量。其他异质外延片晶格常数的测量也可参考此标准。
GB/T 30654—2014Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法.pdf, 行业分类冶金。
此标准规定了利用高分辨X射线衍射测试族氮化物外延片晶格常数的方法。此标准适用于在氧化物衬底(A120、ZnO等)或半导体衬底(GaN、Si、GaAs、SiC等)上外延生长的氮化物(Ga,In,A1)N单层或多层异质外延片晶格常数的测量。其他异质外延片晶格常数的测量也可参考此标准。