T/ICMTIA 5.3—2020集成电路用ArF光刻胶光刻检测方法.pdf，行业分类专用化学产品制造。
内容简要 本文件规定了ArF光刻胶的光刻检测要求及方法、检测标准及包装、运输、存储及环保要求。…
