T/ICMTIA 4.2—2020集成电路用氟化氩光刻胶单体 第2部分：固体甲基丙烯酸酯类.pdf，行业分类专用化学产品制造。
内容简要 本文件规定了集成电路用氟化氩光刻胶单体第2部分固体甲基丙烯酸酯类的术语和定义、产品类型和结构特点、技术要求、分析检测方法、工艺要求、包装、贮存和运输等要求。…
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