GB/T 31227—2014原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法.pdf， 行业分类计量学和测量、物理现象。
此标准规定了使用原子力显微镜(AFM)测量表面粗糙度的方法此标准适用于测量溅射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra小于100nm的薄膜。其他非溅射薄膜的表面粗糙度的测量可以参考此方法。
GB/T 31227—2014原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法.pdf， 行业分类计量学和测量、物理现象。
此标准规定了使用原子力显微镜(AFM)测量表面粗糙度的方法此标准适用于测量溅射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra小于100nm的薄膜。其他非溅射薄膜的表面粗糙度的测量可以参考此方法。