GB/T 15862—2012离子注入机通用规范.pdf
此标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。 u3000u3000 u3000u3000此标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其它离子注入机亦可参照使用。
GB/T 15862—2012离子注入机通用规范.pdf
此标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。 u3000u3000 u3000u3000此标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其它离子注入机亦可参照使用。