GB/T 15861—2012离子束蚀刻机通用规范.pdf
此标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存。 u3000u3000 u3000u3000此标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。其它专用离子束蚀刻机亦可参照执行。
GB/T 15861—2012离子束蚀刻机通用规范.pdf
此标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存。 u3000u3000 u3000u3000此标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。其它专用离子束蚀刻机亦可参照执行。