GB/T 11164—2011真空镀膜设备通用技术条件.pdf， 行业分类流体系统和通用件。
此标准规定了真空镀膜设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等要求。此标准适用于压力在100000/1 Pa～1000/1 Pa范围的真空蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备(以下简称设备)。
GB/T 11164—2011真空镀膜设备通用技术条件.pdf， 行业分类流体系统和通用件。
此标准规定了真空镀膜设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等要求。此标准适用于压力在100000/1 Pa～1000/1 Pa范围的真空蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备(以下简称设备)。