T/CESA 1081—2020半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价要求.pdf，行业分类电子器件制造。
内容简要 本标准规定了半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价（以下简称“评价”）的原则、方法、指标体系及要求、程序等。本标准适用于对具有晶圆大小为8英寸或12英寸的半导体集成电路晶圆产…
T/CESA 1081—2020半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价要求.pdf，行业分类电子器件制造。
内容简要 本标准规定了半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价（以下简称“评价”）的原则、方法、指标体系及要求、程序等。本标准适用于对具有晶圆大小为8英寸或12英寸的半导体集成电路晶圆产…