T/CESA 1082—2020多晶硅制造业绿色工厂评价要求.pdf，行业分类电子元件及电子专用材料制造。
内容简要 本标准规定了多晶硅制造业绿色工厂评价（以下简称“评价”）的原则、方法、指标体系及要求、程序和报告格式等。本标准适用于对运用三氯氢硅法和硅烷法生产多晶硅产品的工厂进行评价，运用其…
T/CESA 1082—2020多晶硅制造业绿色工厂评价要求.pdf，行业分类电子元件及电子专用材料制造。
内容简要 本标准规定了多晶硅制造业绿色工厂评价（以下简称“评价”）的原则、方法、指标体系及要求、程序和报告格式等。本标准适用于对运用三氯氢硅法和硅烷法生产多晶硅产品的工厂进行评价，运用其…