GB/T 26250—2010电子工业用气体 砷化氢.pdf， 行业分类化工技术。
此标准规定了砷化氢的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。此标准适用于砷化合物与酸反应获得的砷化氢。在半导体器件制备过程中，砷化氢用于掺杂以及化合物半导体外延。分子式：AsH3。相对分子质量：77．945 42(按2007年国际相对原子质量计算)。
GB/T 26250—2010电子工业用气体 砷化氢.pdf， 行业分类化工技术。
此标准规定了砷化氢的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。此标准适用于砷化合物与酸反应获得的砷化氢。在半导体器件制备过程中，砷化氢用于掺杂以及化合物半导体外延。分子式：AsH3。相对分子质量：77．945 42(按2007年国际相对原子质量计算)。