GB/T 26307—2010银靶.pdf， 行业分类冶金。
此标准规定了银靶的要求、试验方法、检验规则和标志，包装、运输，贮存及质量证明书与订货单(或合同)内容。此标准适用于半导体器件用的各类银溅射靶材(以下简称银靶)。其他用途的靶材也可参照使用。
GB/T 26307—2010银靶.pdf， 行业分类冶金。
此标准规定了银靶的要求、试验方法、检验规则和标志，包装、运输，贮存及质量证明书与订货单(或合同)内容。此标准适用于半导体器件用的各类银溅射靶材(以下简称银靶)。其他用途的靶材也可参照使用。