GB/T 26070—2010化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法.pdf， 行业分类冶金。
1.1此标准规定了Ⅲ—Y族化合物半导体单晶抛光片亚表面损伤的测试方法。1.2此标准适用于GaAs、InP(GaP、GaSb可参照进行)等化合物半导体单晶抛光片亚表面损伤的测量。
GB/T 26070—2010化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法.pdf， 行业分类冶金。
1.1此标准规定了Ⅲ—Y族化合物半导体单晶抛光片亚表面损伤的测试方法。1.2此标准适用于GaAs、InP(GaP、GaSb可参照进行)等化合物半导体单晶抛光片亚表面损伤的测量。