T/ICMTIA 3—2020集成电路用六氯乙硅烷.pdf，行业分类专用化学产品制造。
内容简要 本标准规定了集成电路用六氯乙硅烷的技术要求，检测方法，包装与运输及安全的要求。其中，检测方法涵盖抽样和判定原则、组分的测定和杂质元素含量的测定等内容。…
T/ICMTIA 3—2020集成电路用六氯乙硅烷.pdf，行业分类专用化学产品制造。
内容简要 本标准规定了集成电路用六氯乙硅烷的技术要求，检测方法，包装与运输及安全的要求。其中，检测方法涵盖抽样和判定原则、组分的测定和杂质元素含量的测定等内容。…