T/GVS 007—2022射频电源动态阻抗测试方法.pdf，行业分类质检技术服务。
内容简要 规定了射频电源动态阻抗测试方法的术语和定义、原理、测试环境条件、仪器设备、测试方法、测试报告。适用于半导体刻蚀、薄膜沉积等应用场合中，输出频率0.2MHz～100MHz的射频电…
T/GVS 007—2022射频电源动态阻抗测试方法.pdf，行业分类质检技术服务。
内容简要 规定了射频电源动态阻抗测试方法的术语和定义、原理、测试环境条件、仪器设备、测试方法、测试报告。适用于半导体刻蚀、薄膜沉积等应用场合中，输出频率0.2MHz～100MHz的射频电…