GB/T 15873—1995半导体设施接口技术文件编写导则.pdf， 行业分类电子学。
此标准规定了半导体设施接口技术文件（以下简称接口文件）编写的基本要求和格式。此标准适用于半导体设施的设计、施工、供应、管理、培训及使用。
GB/T 15873—1995
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此标准规定了半导体设施接口技术文件（以下简称接口文件）编写的基本要求和格式。此标准适用于半导体设施的设计、施工、供应、管理、培训及使用。