T/SZBSIA 006—2022IC类半导体固晶机技术规范.pdf，行业分类电子和电工机械专用设备制造。
内容简要 本文件规定了半导体固晶机的术语和定义、结构与基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、使用说明书与标志、包装、运输和储存。本文件适用于IC类半导体固晶机。…
T/SZBSIA 006—2022IC类半导体固晶机技术规范.pdf，行业分类电子和电工机械专用设备制造。
内容简要 本文件规定了半导体固晶机的术语和定义、结构与基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、使用说明书与标志、包装、运输和储存。本文件适用于IC类半导体固晶机。…