GB/T 14015—1992

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GB/T 14015—1992硅-蓝宝石外延片.pdf

此标准规定了蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片的技术要求、测试方法、检验规则。此标准适用于半导体器件用蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片。

GB/T 14015—1992

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