GB/T 13843—1992

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GB/T 13843—1992蓝宝石单晶抛光衬底片.pdf

此标准规定了生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片的技术要求、测试方法、检验规则。此标准适用于制备半导体器件的生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片。

GB/T 13843—1992

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