T/ZOIA 30001—2022MEMS高深宽比结构深度测量方法 光谱反射法.pdf，行业分类其他电子设备制造。
内容简要 本标准规定了MEMS高深宽比结构深度光谱反射测量的测量原理、测量设备、测量要求、测量方法、测量结果的不确定度评定、合成相对不确定度评定、扩展相对不确定度评定以及测试报告等内容。…
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