T/BEA 40002—2022微波ECR等离子体发生器校准规范.pdf，行业分类工程和技术研究和试验发展。
内容简要 1范围1.1主题内容本规范规定了微波ECR等离子体发生器的计量特性、校准条件、校准项目、校准方法、校准结果的处理。1.2适用范围本标准适用于真空环境下使用的新制造（或新购置）和…
T/BEA 40002—2022微波ECR等离子体发生器校准规范.pdf，行业分类工程和技术研究和试验发展。
内容简要 1范围1.1主题内容本规范规定了微波ECR等离子体发生器的计量特性、校准条件、校准项目、校准方法、校准结果的处理。1.2适用范围本标准适用于真空环境下使用的新制造（或新购置）和…