GB/T 18682—2002物理气相沉积TiN薄膜技术条件.pdf， 行业分类机械制造。
此标准规定了物理气相沉积TiN薄膜的技术要求。此标准适用于物理气相沉积TiN薄膜，也适用于其他方法制备的TiN薄膜。此标准也适用于其他材料沉积层(TiC，TiCN，TiAIN等)。
GB/T 18682—2002
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GB/T 18682—2002物理气相沉积TiN薄膜技术条件.pdf， 行业分类机械制造。
此标准规定了物理气相沉积TiN薄膜的技术要求。此标准适用于物理气相沉积TiN薄膜，也适用于其他方法制备的TiN薄膜。此标准也适用于其他材料沉积层(TiC，TiCN，TiAIN等)。