T/CNIA 0011—2019气相沉积法碳化硅涂层.pdf，行业分类电子元件及电子专用材料制造。
内容简要 本标准规定了气相沉积法碳化硅涂层（以下简称碳化硅涂层）的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同）内容。本标准适用于以甲基三氯硅烷和氢气为主…
T/CNIA 0011—2019气相沉积法碳化硅涂层.pdf，行业分类电子元件及电子专用材料制造。
内容简要 本标准规定了气相沉积法碳化硅涂层（以下简称碳化硅涂层）的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同）内容。本标准适用于以甲基三氯硅烷和氢气为主…