T/CNIA 0012—2019硅粉中硼、磷、铁、铝、钙、钛含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法.pdf，行业分类电子元件及电子专用材料制造。
内容简要 本标准规定了多晶硅生产用硅粉中硼、磷、铁、铝、钙、钛含量的测定方法。本标准适用于多晶硅生产用硅粉中硼、磷、铁、铝、钙、钛含量的测定…
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