T/ZZB 1373—2019

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T/ZZB 1373—20197N 光电子级超纯氨.pdf,行业分类基础化学原料制造。

内容简要 本标准规定了7N光电子级超纯氨的基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮运及安全要求和质量承诺。本标准规定的产品氨适用于半导体工业,氮化硅、氮化镓的化学气相…

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