T/SBX 021—2019激光芯片自动划片裂片操作规程.pdf，行业分类电子元件及电子专用材料制造。
内容简要 本规范规定了芯片划片工艺的人员、设备、材料、环境等条件的要求及工艺操作规程。本规范适用于划裂工艺。…
