T/ICMTIA 1—2019集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范.pdf，行业分类专用化学产品制造。
内容简要 本标准规范了集成电路用气体的检测方法及检验报告的制作，包装与存储要求、安全和环保要求，以及生产过程的基础管理要求等。…
