T/WLJC 57—2019

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T/WLJC 57—2019晶片精密研磨盘.pdf,行业分类金属加工机械制造。

内容简要 标准名称中的“晶片”包括:——半导体材料晶片,如:硅单晶Si,锗单晶Ge等;——复合半导体材料晶片,如:GaAs,GaN,InP等;——光电材料晶片,如:LiNbO3,BBO等…

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