T/CSTM 01199—2024多层金属薄膜 层结构测量分析方法 X射线光电子能谱.pdf，行业分类质检技术服务。
内容简要 本文件规定了X射线光电子能谱仪（XPS）深度剖析测量多层金属薄膜层结构的分析方法。本文件适用于70nm~240nm深度内纳米尺度多层金属薄膜层成分、化学态、膜厚…
T/CSTM 01199—2024多层金属薄膜 层结构测量分析方法 X射线光电子能谱.pdf，行业分类质检技术服务。
内容简要 本文件规定了X射线光电子能谱仪（XPS）深度剖析测量多层金属薄膜层结构的分析方法。本文件适用于70nm~240nm深度内纳米尺度多层金属薄膜层成分、化学态、膜厚…